SIMCO思美高In-Line fusION离子发生器
SIMCO离子发生器In-Line fusION
Simco-Ion 的 In-Line fusION 是一款紧凑型离子产生器,能提供强大的静电控制,适用在半导体,平板显示,医疗器件的精密制程和微细环境内,在有限的空间处理局部但要输送较远的区域静电问题。In-Line fusION 的安装,操作和维护十分简易,只须安放靠近工作区,连接电源,即可开始工作,消除区内的静电。砖利自动平衡技术,无需调整或校准。这个惊人的细小紧凑装置使用钨金属静电针和提供警报输出,可集成设备系统作远端监控。利用设备电源可以多台串连工作Simco-Ion 标配的 24 VDC 电源适配器,可串联连接 5 台。
透过长管把离子输送 | • 方便处理较为难以碰触的目标地方 |
• 紧凑的设计 | • 可装入制程设备内有限的紧闭空间 |
• 电离状态指示灯和远端报警输出 | • 标准功能,方便用户操作 |
• 单台电源可供应多台 fusION 离子产生器 | • 同一电源*多可串联 5 台 fusION 离子产生器,非常适合机内多 |
• 选配风刀,风环和氮气 (N2) 套件 | 个位置的静电防护 |
• 能客制 In-Line fusION 以符合紧凑环境和洁净要求 |